RPM4 G200K / G0030 是 FLUKE 針對半導體研磨製成而開發的專用機種
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高精度的RPM4（Reference Pressure Monitor）不僅僅是一個簡單的數位壓力計。它是先進科技的成果。它是各種高端壓力校正、測試和測量應用的完美解決方案。它除了覆蓋從非常低的真空壓力到液壓280MPa的壓力範圍，還提供讀數精度的測量不確定度。其測試範圍和精度取決於所選擇的傳感器。請參見後面有關傳感器的列表。利用這樣一台高精度的壓力測試/監測儀器，用戶可以完成：壓力的高精度測量，壓力的監測，壓力測量設備的校正，以及配合手動壓力發生器構成低成本的壓力校正系統。

性能優異

RPM4的測量不確定度為0.01%讀數，最高可達0.008%讀數，這是數位壓力測量的最高測量水平。如此高的測量精度來自於所選擇的優質壓力傳感器。

RPM4出眾的壓力測量技術指標是源於卓越的石英參考壓力傳感器（Q-RPT）模組所帶來的。Q-RPT通過測量一個石英晶體在壓力引起的應力下固有振盪頻率的變化來測量壓力。和其他數位式壓力不同，RMP4選擇的這種石英壓力傳感器在眾多壓力傳感器中（壓阻，壓電等）這是性能優異，功能穩定，同時也是價格昂貴的壓力傳感器。Q-RPT傳感器模組的特點是：伴隨自動量程調節的％讀數測量不確定度；很短的預熱時間；不依賴於介質種類；石英元件與測試介質相隔離；對方向的敏感度低。這些特點都給實際使用帶來了極大的便利性和易用性。

其次，福祿克DHI所選擇的壓力傳感器是經過嚴格篩選測試的。為了檢驗傳感器的性能，每個傳感器都經過獨立評估並使用基準級壓力標準對其進行特性化。只有滿足必需的線性度、可重複性和穩定度的傳感器才會被選中。我們採用了一個擁有專利的補償模型來優化傳遞標準所要求的計量特性，該模型是通過15年以上，數千支石英壓力傳感器的測試經驗推導所得。這些測試包括線性度測試，溫度變化測試，穩定性測試等多種測試。在經過了嚴格的篩選後，會淘汰那些性能一般的傳感器。對於通過了篩選測試的傳感器，再根據其性能和穩定性分為滿量程級，標準級和特級三種性能級別的傳感器。由於需要經過這樣嚴格的篩選過程，淘汰了相當一部分性能欠佳的傳感器，因此，傳感器的性能就有了可靠的保證，同時價格也就相應提高。由於精度級別越高，所能夠篩選出來的傳感器數量就越少，價格也就越高。

此外，在通過了嚴格篩選的傳感器後，這些傳感器需要進行特殊的工藝對其進行封裝。封裝時考慮了穩定性，溫度敏感性等等。這種嚴格的特殊封裝工藝有如下的作用，可以保證準確度受震動的影響小，受溫度變化的影響小，長期的穩定性好。

經過篩選後的傳感器，我們將他們按照性能分為標準級和特級，從而讓用戶根據自己的情況來選載，滿足您性能和預算要求。一個獨特的大氣壓力動態補償系統通過獨立的內置氣壓計實現絕壓、表壓、負壓工作模式之間的瞬間切換。內置氣壓計僅被用來測量在表壓模式下大氣壓力發生的微小變化，因此其隨時間的絕對誤差和漂移不影響測量不確定度。

Q-RPT模組的優勢有：

• 伴隨自動量程調節的％讀數測量不確定度
• 可忽略不計的預熱時間
• 不依賴於氣體種類
• 石英元件與測試介質相隔離
• 對方向的敏感度低

眾多的實用功能

RPM4內置了很多功能，例如實用的自動量程功能（AutoRange ^TM）。可以適應各種各樣的被測設備。所謂自動量程（AutoRange ^TM），是指用戶可根據校正實際需要，設定自動量程的測量範圍以準確匹配被校對象的量程。在傳感器的測量值量程之內，可設置無限多個自動量程段，對用戶來講，好處就是標準器的量程不是固定不變的。用戶可以在參考壓力傳感器測量範圍內選擇無限多的量程，並且保證其準確度為所選量程的滿量程的百分數來表示。基於以上操作，標準器實現了無限多個自動量程。

在測試之前的一些簡單鍵盤輸入或單條遠程命令字符串即可修改壓力監測儀的設置，針對量程對其進行優化。

• 選擇並激活合適的Q-RPT，覆蓋特定的量程和測量模式。
• 設置了壓力測量單位。
• 激活了絕壓、表壓或複合壓測量模式。
• 針對量程將顯示分辨率調整到恰當的水平。
• 將過壓報警調整至實際的工作量程。
• 以所選量程按比例減小測量不確定度至所選量程（僅限特級Q-RPT）。

注：建議使用RPM4的AutoRange功能針對特定的量程進行優化，但不是獲得“%讀數”測量指標所必須的。

SDSTM Q-RPT自我保護系統所有低於7 MPa (1 000 psi)的Q-RPT模組均包括DHI所獨有的SDS（Self DefenseSystem^TM）功能。當不使用Q-RPT或者將要發生過壓時，SDS閥門則自動隔離並對Q-RPT排氣。有了SDS功能，任何Q-PRT模組均可保持連接到高達10 MPa (1,500 psi)的壓力，而無需隔離或斷開。

RPM4提供了您希望當今新式壓力儀器所具備的全部功能，以及更多：基於穩定性的“就緒/未就緒”指示、內置流體壓頭修正、用戶可定義的壓力單位、智能的AutoZeroTM功能、遠程“ENTER”開關、清晰的大字符顯示屏、12V直流電源和電池組選件、外置閥門驅動、RS232和IEEE-488通信、閃存卡和免費的嵌入式軟體升級（www.dhinstruments.com）、基於PC的自動校正軟體、免費的LabVIEW驅動。

豐富的顯示，操作簡單

RPM4通過簡潔的顯示屏可以提供多種信息，包括測量單位，測量模式（表壓還是絕壓），測試壓力，實時誤差，當前所使用的傳感器，遠程激活指示等。

儀器還可以監測漏洩狀態，用戶可以輸入所要求的洩漏速率，當洩露超過一定規定的速率儀器則會報告。只有在小於一定洩漏速率的情況下才開始測試。儀器屏幕左上方有一個指示燈，當壓力穩定，洩漏速率小於所規定值的時候，該綠色指示燈會點亮表示可以測試。這種功能不僅僅方便了測試，也使得操作更加簡單。

通過顯示屏下面的按鍵，可以自行設定一個自動校正的程序，包括量程，準確度，校正點的數量以及上下行。然後儀器可以在手動或自動壓力控制下完成自動或半自動的校正，所有的校正數據都將記錄下來，從而很方便地完成校正的報告。

RPM4內置功能提供了大量高級內置壓力數據功能，包括：壓力平均、變化速率、Hi/Lo、保持、相對於設置點的偏差。你還可以直接測量兩個Q-RPT之間的壓力，包括管壓校正。您還可以並行測量，將兩個Q-RPT用作一個進行測量。

靈活的配置組合

一台RPM4是開放式的結構，一台儀器可以內置兩個壓力的傳感器，您可以根據您的需要選擇一個或者兩個傳感器。由於RPM4給出的是讀數的精度，所以他比滿量程精度的表示方式具有同等精度條件下覆蓋範圍更大的特點。因此可能一隻傳感器就可以滿足您的需要。一般情況下，兩隻傳感器就可以滿足絕大多數情況的使用。

RPM4也可作為PPC4的外部參考壓力測量裝置。1台RPM4能夠通過9針RS232電纜形式連接到PPC4。RPM4的Q-RPT則成為PPC4系統的一部分，並且受PPC4的控制和管理。僅需要一個測試連接，PPC4的壓力測試系統既可發揮全部功能。

兼容PPC系列自動壓力控制器

RPM4可作為DHI的全自動壓力控制器/校正儀PPC系列的外部參考壓力測量裝置。1或2個RPM4能夠通過9針RS232電纜以“菊花鏈”形式連接到PPC系列。RPM4的Q-RPT則成為PPC系列系統的一部分，並且受PPC系列的管理，對用戶是透明的。僅需要一個測試連接，PPC系列系統既可發揮全部功能。